Synthese von multikristallinem D眉nnschicht-Silizium f眉r die elektronische Anwendung
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sameday media GmbH
Am Flatthaus 13
29640 Schneverdingen
Zielsetzung und Anlass des Vorhabens
Als Ergebnis des Vorprojektes 'c-Si on Quartz' AZ 32945/01 wurde die Erreichbarkeit einer hervorragenden kristallinen Siliziumqualit盲t aus einer durch Aluminium reduzierten Floatglas-Oberfl盲che gezeigt, mit besten Voraussetzungen f眉r die elektronische Anwendung. Darauf aufbauendes Ziel dieses Vorhabens ist es nun, eine homogene multikristalline Silizium-Schicht in ausreichender Fl盲che, Dicke und Homogenit盲t zu syntheti-sieren und damit die technische Umsetzbarkeit zu belegen.