Effizienzsteigerung der Abgasreinigung von Prozessgasen in der Chipindustrie mittels einer neuartigen Plasma-Barriereentladung
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Diener electronic GmbH & Co. KG
Nagolder Str. 61
72224 Ebhausen
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118.000,00 €
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10.12.2015 - 10.03.2017
Bundesland
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Klimaschutz
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